巨应力阻抗效应加速度计

发明专利无效专利

申请号：
CN201110300812.4
IPC分类号：G01P15/09;G01P15/12
申请日期：
2011-10-09
申请人：
周志敏;刘明;胡晓东

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著录项信息

专利名称	巨应力阻抗效应加速度计
申请号	CN201110300812.4	申请日期	2011-10-09
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2013-04-10	公开/公告号	CN103033646A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01P15/09 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01P 线速度或角速度、加速度、减速度或冲击的测量；运动的存在或不存在的指示；运动的方向的指示（利用陀螺效应测量角速率入G01C 19/00；用于测量两个或多个运动变量的组合测量设备入G01C 23/00；声速测量入G01H 5/00；光速测量入G01J 7/00；通过无线电波或其他波的反射或再辐射，且基于传播效应（例如多普勒效应）、传播时间或传播方向来测量固体物体的方向或速度入G01S；核辐射速度的测量入G01T） G01P15/00 测量加速度；测量减速度；测量冲击即加速度的突变 G01P15/02 利用惯性力（G01P 15/14优先）〔1，7，2013.01〕 G01P15/08 用变换成电或磁量 G01P15/09 应用压电变送器〔3〕	IPC分类号	G;0;1;P;1;5;/;0;9;;;G;0;1;P;1;5;/;1;2查看分类表>
申请人	周志敏;刘明;胡晓东	申请人地址	上海市嘉定区汇旺东路990号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	周志敏,刘明,胡晓东	当前权利人	周志敏,刘明,胡晓东
发明人	周志敏
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

一种属于传感器技术领域的巨应力阻抗效应加速度计，本发明由硅基片上1的悬臂梁2，巨应力阻抗效应力敏传感器3，质量块4组成，巨应力阻抗效应力敏传感器3为具有高磁致伸缩系数的Fe基非晶合金薄带，其各向异性场为沿薄带宽度方向，形状为曲折多匝结构，质量块为Cu材料。工作时，质量块用于感受加速度并产生对恳臂梁端部的作用，使得悬臂梁发生受力变形，产生一定的挠度，巨应力阻抗效应力敏传感器将这种受力转变成阻抗变化的信号，并通过两端电压信号反映出来，从而测量出整个系统的加速度参数，整个结构为通过微机电系统MEMS技术制备，具有体积小，制作工艺简单，灵敏度高，可以批量生产，反映速度快等的优点。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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