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卤素制冷剂检测传感器敏感材料及气敏元件的制造方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN200810195806.5
  • IPC分类号:G01N27/407
  • 申请日期:
    2008-09-02
  • 申请人:
    徐州市精英电器技术有限公司
著录项信息
专利名称卤素制冷剂检测传感器敏感材料及气敏元件的制造方法
申请号CN200810195806.5申请日期2008-09-02
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日2009-02-18公开/公告号CN101368930
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01N27/407IPC分类号G;0;1;N;2;7;/;4;0;7查看分类表>
申请人徐州市精英电器技术有限公司申请人地址
江苏省徐州市铜山区黄山路1号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人江苏省精创电气股份有限公司当前权利人江苏省精创电气股份有限公司
发明人徐甲强;王丁;张源;许鹏程
代理机构徐州市三联专利事务所代理人周爱芳
摘要
本发明涉及一种卤素制冷剂检测传感器敏感材料及其气敏元件制备方法,敏感材料分为两层,内层组分为SnO2纳米材料;外层材料为负载有Pd量子点的介孔SiO2。首先将SnO2纳米粉体研磨后以适量去离子水调成糊状,均匀涂敷在厚膜元件表面,经过500℃退火处理2小时,元件表面均匀涂敷负载有0.1%-1%Pd量子点的介孔SiO2增敏材料,再次经过500℃退火处理2小时,制得气敏元件。最后按厚膜半导体气敏元件制作工艺对气敏元件进行焊接、老化、封装、制得制冷剂R134a检测传感器元件。本发明制得的气敏元件在卤素制冷剂检测中具有灵敏度高,稳定性好、响应恢复时间短的优点,可用于卤素制冷剂的检漏或检测领域。

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