一种微透镜的制备方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201910316865.1
IPC分类号：G02B3/00
申请日期：
2019-04-18
申请人：
中国科学技术大学

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著录项信息

专利名称	一种微透镜的制备方法
申请号	CN201910316865.1	申请日期	2019-04-18
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2019-08-02	公开/公告号	CN110082845A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G02B3/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G02 光学 G02B 光学元件、系统或仪器（G02F优先；专用于照明装置或系统的光学元件入F21V 1/00至F21V 13/00；测量仪器见G01类的有关小类，例如，光学测距仪入G01C；光学元件、系统或仪器的测试入G01M 11/00；眼镜入G02C；摄影、放映或观看用的装置或设备入G03B；声透镜入G10K 11/30；电子和离子“光学”入H01J；X射线“光学”入H01J，H05G 1/00；结构上与放电管相组合的光学元件入H01J 5/16，H01J 29/89，H01J 37/22；微波“光学”入H01Q；光学元件与电视接收机的组合装置入H04N 5/72；彩色电视系统中的光学系统或装置入H04N 9/00；专门适用于透明或反射区的加热装置入H05B 3/84）〔1，7〕 G02B3/00 简单或复合透镜（人造眼入A61F 2/14；眼睛用透镜或接触透镜入G02C；钟表玻璃入G04B 39/00）	IPC分类号	G;0;2;B;3;/;0;0查看分类表>
申请人	中国科学技术大学	申请人地址	安徽省合肥市包河区金寨路96号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学技术大学	当前权利人	中国科学技术大学
发明人	王亮;张博健;罗慧雯;何伟
代理机构	中科专利商标代理有限责任公司	代理人	暂无

摘要

一种微透镜的制备方法，包括步骤1，设计微透镜的曲面方程和顶底高度；步骤2，处理衬底上的光刻胶，以形成球冠型光刻胶，该球冠型光刻胶的底面直径与设计的微透镜的底面直径相同；步骤3，根据球冠型光刻胶的顶底高度和设计的顶底高度确定衬底与球冠型光刻胶的刻蚀选择比；步骤4，对衬底和球冠型光刻胶进行刻蚀，使得刻蚀后的衬底的顶底高度、底面直径分别与设计的顶底高度、底面直径相同；步骤5，在刻蚀后的衬底外部蒸镀介质增透膜。通过对光刻胶热熔法制备的球冠型光刻胶微透镜进行干法刻蚀，从而将预先设计的抛物面型的微透镜转移至衬底，并在衬底上蒸镀介质增透膜，扩大了微透镜的底面直径，增加了微透镜的耐久性，提高了光学耦合率。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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