一种晶圆的磨削非接触式测量结构

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202023272258.7
IPC分类号：B24B49/12;B24B55/00
申请日期：
2020-12-30
申请人：
无锡锐弘精机有限公司

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著录项信息

专利名称	一种晶圆的磨削非接触式测量结构
申请号	CN202023272258.7	申请日期	2020-12-30
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B24B49/12 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B24 磨削；抛光 B24B 用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F 3/00）；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给 B24B49/00 用于控制磨具或工件进给运动的测量或校准装置；指示或测量装置的布置，如用于指示磨削加工开始的（B24B 33/06，B24B 37/005优先；如果适合于其他机床，B23Q 15/00到B23Q 17/00优先）〔1，2012.01〕 B24B49/12 使用光学装置	IPC分类号	B;2;4;B;4;9;/;1;2;;;B;2;4;B;5;5;/;0;0查看分类表>
申请人	无锡锐弘精机有限公司	申请人地址	江苏省无锡市新吴区张公路36号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	无锡锐弘精机有限公司	当前权利人	无锡锐弘精机有限公司
发明人	吴东晓
代理机构	无锡苏元专利代理事务所（普通合伙）	代理人	张姝

摘要

本实用新型公开了一种晶圆的磨削非接触式测量结构，包括回转气缸，所述回转气缸的上端设置有轴承座，且轴承座的上端安装有转轴，所述转轴上套接有摆杆，该摆杆的最右端设置有激光测量仪，且所述激光测量仪的下端设置有测量仪保护罩，所述回转气缸带动转轴转动，所述摆杆以转轴为轴心沿着转轴作旋转运动；本实用新型一种晶圆的磨削非接触式测量结构，由于晶圆磨削需要在线测量，但接触式测量易将晶圆划伤，所以设计成非接触式测量，由于磨削时有磨削液会使激光产生折射，会使测量产生误差，所以将压缩气冲入量仪保护罩中，使测量的表面没有液体，从而保证测量的准确性。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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