MEMS微驱动器及其制作方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201710320971.8
IPC分类号：B81B7/02;B81C1/00;H01H59/00
申请日期：
2017-05-09
申请人：
北方工业大学

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著录项信息

专利名称	MEMS微驱动器及其制作方法
申请号	CN201710320971.8	申请日期	2017-05-09
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2017-09-05	公开/公告号	CN107128873A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B81B7/02 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B8 微观结构技术；纳米技术 B81 微观结构技术〔7〕 B81B 微观结构的装置或系统，例如微观机械装置（压电元件、电致伸缩元件或磁致伸缩元件本身入H01L41/00）〔7〕 B81B7/00 微观结构系统〔7，2006.01〕 B81B7/02 包括功能上有特定关系的不同的电或光学装置，例如微电子—机械系统（MEMS）（B81B7/04优先）〔7，2006.01〕	IPC分类号	B;8;1;B;7;/;0;2;;;B;8;1;C;1;/;0;0;;;H;0;1;H;5;9;/;0;0查看分类表>
申请人	北方工业大学	申请人地址	北京市石景山区晋元庄路5号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北方工业大学	当前权利人	北方工业大学
发明人	赵全亮;何广平;狄杰建;袁俊杰;宋维力;侯志灵;李明勇
代理机构	北京聿宏知识产权代理有限公司	代理人	吴大建;张杰

摘要

本发明公开了一种MEMS微驱动器，该MEMS微驱动器包括形成于衬底上的相互并联连接的第一传输部与第二传输部，同时接收并传输射频信号；形成于由第一传输部与第二传输部围成的区域内的支撑层与下电极，其与驱动信号相连接；形成于下电极上表面的驱动介质层；形成于驱动介质层上表面的上电极，其与接地信号相连接；以及形成于上电极上的第一开关触点与第二开关触点；其中，驱动介质层在驱动信号与所述接地信号产生的电场的作用下发生弹性形变，以使得第一开关触点和第二开关触点分别与第一传输部和第二传输部相接触，从而停止射频信号的传输。该MEMS微驱动器有效提高微驱动器的电传输信号功率处理能力，同时提高开关速度及抗环境干扰的能力。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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