一种晶圆自动贴DAF膜装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202120703937.0
IPC分类号：B65H41/00;B65H37/04;B65H23/26;H05F3/06
申请日期：
2021-04-07
申请人：
韦有乾

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著录项信息

专利名称	一种晶圆自动贴DAF膜装置
申请号	CN202120703937.0	申请日期	2021-04-07
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B65H41/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B6 交通运输 B65 输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料 B65H 搬运薄的或细丝状材料，如薄板、条材、缆索 B65H41/00 分开叠置条材的机器	IPC分类号	B;6;5;H;4;1;/;0;0;;;B;6;5;H;3;7;/;0;4;;;B;6;5;H;2;3;/;2;6;;;H;0;5;F;3;/;0;6查看分类表>
申请人	韦有乾	申请人地址	广东省东莞市常平镇园林路1号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	韦有乾	当前权利人	韦有乾
发明人	韦有乾
代理机构	苏州中合知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	胡朝冰

摘要

一种晶圆自动贴DAF膜装置，包括DAF膜分离装置和DAF膜粘贴装置；所述DAF膜分离装置包括放料卷轴、收料卷轴、主滚筒和分离刀，所述放料卷轴分别与收料卷轴、主滚筒传动连接，且所述放料卷轴与收料卷轴同向转动，所述放料卷轴与主滚筒反向转动，所述放料卷轴和收料卷轴中的一个与动力装置连接；所述DAF膜粘贴装置设于DAF膜分离装置的下方，且所述DAF膜粘贴装置可以从主滚筒下方伸出和收回，所述DAF膜粘贴装置包括吸盘，所述吸盘的外形和尺寸与晶圆的对应。此晶圆自动贴DAF膜装置不仅可以自动地把离型膜和DAF膜分离，而且能够将DAF膜精确地粘贴在晶圆和支撑圈上，降低了工人的劳动强度，提高了生产效率。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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