大数值孔径浸油镜头检测装置及方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201710226421.X
IPC分类号：G01M11/02
申请日期：
2017-04-09
申请人：
南京东利来光电实业有限责任公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	大数值孔径浸油镜头检测装置及方法
申请号	CN201710226421.X	申请日期	2017-04-09
法律状态	实质审查	申报国家	暂无
公开/公告日	2017-06-27	公开/公告号	CN106895963A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01M11/02 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01M 机器或结构部件的静或动平衡的测试；其他类目中不包括的结构部件或设备的测试 G01M11/00 光学设备的测试；其他类目未包括的用光学方法测试结构部件 G01M11/02 光学性质的测试	IPC分类号	G;0;1;M;1;1;/;0;2查看分类表>
申请人	南京东利来光电实业有限责任公司	申请人地址	江苏省南京市江宁区汤山工业集中区纬二路7号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	南京东利来光电实业有限责任公司	当前权利人	南京东利来光电实业有限责任公司
发明人	赵跃东
代理机构	北京科亿知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	王清义

摘要

本技术提供了一种大数值孔径浸油镜头波像差检测方法，光源发出的出射光束汇聚在准直透镜焦点位置的光栏上，光束经分光棱镜后，沿准直透镜以平行光束的方式出射，投射在标准平晶上；以标准平晶的入射面为参考平面，一部分光线沿参考平面原路反射，另一部分光线透过参考平面出射，透过被测镜头和介质油聚焦在焦点上，光束沿焦点点入射方向射入一超半球反射体，并返回，最后两束光线均通过分光棱镜反射，在出瞳位置形成两个明亮的小孔，通过调节标准平晶与检测镜头之间的空气楔，使得两个小孔的像重合，最后再通过CCD将小孔处的图像转换成电信号；所述超半球反射体以玻璃制成，其矢高大于超半球反射体半径R，超半球的外圆面镀全反射膜。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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