外支撑四质量块MEMS谐振式陀螺仪

实用新型专利无效专利

申请号：
CN201620173367.8
IPC分类号：G01C19/574
申请日期：
2016-03-08
申请人：
清华大学

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专利名称	外支撑四质量块MEMS谐振式陀螺仪
申请号	CN201620173367.8	申请日期	2016-03-08
法律状态	放弃专利权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01C19/574 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01C 测量距离、水准或者方位；勘测；导航；陀螺仪；摄影测量学或视频测量学（液体水平面的测量入G01F；无线电导航，通过利用无线电波的传播效应，例如多普勒效应，传播时间来测定距离或速度，利用其他波的类似装置入G01S） G01C19/00 陀螺仪；使用振动部件的转动敏感装置；不带有运动部件的转动敏感装置；使用陀螺效应测量角速率〔1，2013.01〕 G01C19/56 使用振动部件的转动敏感装置，例如基于科里奥利力的振动角速度传感器〔1，2012.01〕 G01C19/5719 使用被驱动做沿轴平移振动的平面振动部件〔2012.01〕 G01C19/5733 结构细节或拓扑〔2012.01〕 G01C19/574 反相运动中具有两个传感部件的装置〔2012.01〕	IPC分类号	G;0;1;C;1;9;/;5;7;4查看分类表>
申请人	清华大学	申请人地址	北京市海淀区信箱82分箱清华大学专利办公室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	清华大学	当前权利人	清华大学
发明人	周斌;张嵘;张天;陈志勇
代理机构	北京纪凯知识产权代理有限公司	代理人	徐宁;关畅

摘要

本实用新型涉及一种外支撑四质量块MEMS谐振式陀螺仪，该陀螺仪包括基板层和位于基板层上方的结构层，结构层包括拥有四对称轴的八边形平面框架结构的支撑架，四根沿以支撑架对称中心为圆心的圆周对称均匀分布在支撑架外侧的锚定支撑柱，四个沿以支撑架对称中心为圆心的圆周对称均匀分布在支撑架内侧的质量块，四个分别设置在四个质量块与支撑架之间的驱动检测单元和四个分别设置在四个质量块远离支撑架一侧的驱动单元；相对的两个质量块完全相同，每个质量块接近支撑架的一侧设置有驱动检测电容可动极板、远离支撑架的一侧设置有驱动电容可动极板，质量块能在支撑架平面内产生“主模态”振动，或者产生“次模态”振动，或者同时产生“主模态”和“次模态”振动。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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