一种CMP工艺中新品研磨数据的精确计算方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201310455219.6
IPC分类号：G06F17/50
申请日期：
2013-09-30
申请人：
无锡华润上华科技有限公司

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著录项信息

专利名称	一种CMP工艺中新品研磨数据的精确计算方法
申请号	CN201310455219.6	申请日期	2013-09-30
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2015-04-15	公开/公告号	CN104516993A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G06F17/50 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G06 计算；推算；计数 G06F 电数字数据处理（基于特定计算模型的计算机系统入G06N） G06F17/00 特别适用于特定功能的数字计算设备或数据处理设备或数据处理方法〔6〕 G06F17/50 计算机辅助设计（静态存储的测试电路的设计入G11C 29/54）〔6，8〕	IPC分类号	G;0;6;F;1;7;/;5;0查看分类表>
申请人	无锡华润上华科技有限公司	申请人地址	江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新洲路8号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	无锡华润上华科技有限公司	当前权利人	无锡华润上华科技有限公司
发明人	张礼丽;刘毅
代理机构	江苏英特东华律师事务所	代理人	邵鋆

摘要

一种CMP工艺中新品研磨数据的精确计算方法，应用于APC系统，按以下规则同步新品的定时程序中控制信息：一，旧品TECH、Layer、PPID、PostTargetclearratio和新品相同，则复制旧品controller到新品；二，clearratio不同，clearratio差异在5%以内的任意两笔旧品记录，按公式A的刻开比clearratio/B和C刻开比clearratio的平均值=B和C消除前值不同影响的研磨量Table’的平均值/A的研磨量Table；计算出新品A的研磨量Table；A的前值=B、C前值的平均值；三，将A的研磨量Table和前值写入控制信息controller，其它信息数据复制自任意一个选取的旧品B或C的数据。本发明的新品上线成功率高、成本低、减少浪费。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

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