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形成图像传感器装置的方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201710650714.0
  • IPC分类号:H01L27/146
  • 申请日期:
    2017-08-02
  • 申请人:
    台湾积体电路制造股份有限公司
著录项信息
专利名称形成图像传感器装置的方法
申请号CN201710650714.0申请日期2017-08-02
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2018-10-02公开/公告号CN108615739A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L27/146IPC分类号H;0;1;L;2;7;/;1;4;6查看分类表>
申请人台湾积体电路制造股份有限公司申请人地址
中国台湾新竹科学工业园区新竹市力行六路八号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人台湾积体电路制造股份有限公司当前权利人台湾积体电路制造股份有限公司
发明人李岳川;陈嘉展;林荣义;林稔杰;李志煌;陈达欣
代理机构南京正联知识产权代理有限公司代理人顾伯兴
摘要
一种在衬底上形成图像传感器装置的方法。所述方法包括:(a)使所述衬底的一部分凹陷,从而形成第一浅沟槽;(b)形成间隔壁层,所述间隔壁层环绕所述第一浅沟槽的侧壁的至少一部分;以及(c)通过使用所述间隔壁层作为掩模,使所述衬底进一步凹陷,以形成在所述第一浅沟槽下方延伸的第一深沟槽。

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