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提高半导体金属封装产品多余物检测合格率的方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202110679768.6
  • IPC分类号:H01L21/48
  • 申请日期:
    2021-06-18
  • 申请人:
    深圳技术大学
著录项信息
专利名称提高半导体金属封装产品多余物检测合格率的方法
申请号CN202110679768.6申请日期2021-06-18
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2021-09-14公开/公告号CN113394116A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/48IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;4;8查看分类表>
申请人深圳技术大学申请人地址
广东省深圳市坪山区石井街道兰田路3002号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人深圳技术大学当前权利人深圳技术大学
发明人赵珩;何俊锋;卢剑豪;钟宏江;董嘉辉;梁凯明
代理机构深圳市恒申知识产权事务所(普通合伙)代理人赵胜宝
摘要
本申请提供了一种提高半导体金属封装产品多余物检测合格率的方法,包括如下步骤:将有机硅橡胶涂覆到金属封装管帽上;将金属封装管帽依次在80±5℃、120±5℃、150±5℃、180±5℃、220±5℃的温度下进行烘烤;将烘烤完成后的金属封装管帽放置于一恒温环境,并进行密封。通过本申请方案的实施,经过多阶段的高温对有机硅橡胶烘烤过后,使有机硅橡胶中的有毒、有害气体排出,同时保持有机硅橡胶具有一定的粘连度,可以有效粘附封装腔体内微小的多余物,从而提高金属金属封装产品多余物检测的合格率,且本申请的操作方法操作简单,有效性强,可广泛运用于空封器件的封装过程中。

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