加载中...
首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

包括采用热管制造的冷却装置的烘干系统

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200410032662.3
  • IPC分类号:H01L21/027;G03F7/40
  • 申请日期:
    2004-03-15
  • 申请人:
    三星电子株式会社
著录项信息
专利名称包括采用热管制造的冷却装置的烘干系统
申请号CN200410032662.3申请日期2004-03-15
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2004-09-22公开/公告号CN1531021
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/027IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;0;2;7;;;G;0;3;F;7;/;4;0查看分类表>
申请人三星电子株式会社申请人地址
韩国京畿道 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人三星电子株式会社当前权利人三星电子株式会社
发明人李晋成;李瞳雨;金兑圭;金商甲;申东和
代理机构北京市柳沈律师事务所代理人马高平;杨梧
摘要
提供一种包括使用热管制造的冷却装置的烘干系统。在包括其上放置有一个将要进行烘干的晶片的板和对板进行加热的加热器的烘干系统中,冷却装置包括:冷却元件,设置成与板相对,同时加热器在板和冷却元件之间,并且使用内部冷却剂的汽化对板进行冷却;冷却剂存放箱,当对板进行冷却时给冷却元件供应冷却剂,当板被加热时存放冷却剂;冷却水存放箱,当对板进行冷却时使冷却水循环通过冷却元件,以将供应给冷却元件内的冷却剂的温度保持恒定;冷却水供应管线,其是冷却元件内的冷却水的流径,并且使冷却元件与冷却水存放箱相互连接。整个烘干板能均匀地加热和冷却,并且冷却所需要的时间显著地由几分钟减少到几十秒。

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供