一种兼容硅片与玻璃片的静电吸盘装置及等离子刻蚀设备

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202120643605.8
IPC分类号：H01L21/683;H01L21/687;H01J37/20;H01J37/32
申请日期：
2021-03-30
申请人：
安徽熙泰智能科技有限公司

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著录项信息

专利名称	一种兼容硅片与玻璃片的静电吸盘装置及等离子刻蚀设备
申请号	CN202120643605.8	申请日期	2021-03-30
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/683 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕 H01L21/67 专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置〔8〕 H01L21/683 用于支承或夹紧的（用于定位、定向或对准的入H01L 21/68）〔8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;6;8;3;;;H;0;1;L;2;1;/;6;8;7;;;H;0;1;J;3;7;/;2;0;;;H;0;1;J;3;7;/;3;2查看分类表>
申请人	安徽熙泰智能科技有限公司	申请人地址	安徽省芜湖市芜湖长江大桥综合经济开发区高安街道经四路一号办公楼五楼变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	安徽熙泰智能科技有限公司	当前权利人	安徽熙泰智能科技有限公司
发明人	曹贺;刘晓佳;吕迅;刘胜芳;赵铮涛
代理机构	芜湖安汇知识产权代理有限公司	代理人	孟迪

摘要

一种兼容硅片与玻璃片的静电吸盘装置及等离子刻蚀设备，属于等离子刻蚀技术领域，其中的静电吸盘装置，包括基座及其上设置的静电吸盘，静电吸盘上放置待刻蚀的硅片或玻璃片，基座的外周方向上设置有多组压紧调节机构，多个压紧调节机构将玻璃片的外周压紧，本实用新型的有益效果是，该静电吸盘装置整体结构简单，操作方便灵活，可将硅片或玻璃片有效吸附，而不会造成玻璃片的击穿，提高了吸附的安全性和刻蚀的稳定性。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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