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一种兼容硅片与玻璃片的静电吸盘装置及等离子刻蚀设备

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN202120643605.8
  • IPC分类号:H01L21/683;H01L21/687;H01J37/20;H01J37/32
  • 申请日期:
    2021-03-30
  • 申请人:
    安徽熙泰智能科技有限公司
著录项信息
专利名称一种兼容硅片与玻璃片的静电吸盘装置及等离子刻蚀设备
申请号CN202120643605.8申请日期2021-03-30
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/683IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;8;3;;;H;0;1;L;2;1;/;6;8;7;;;H;0;1;J;3;7;/;2;0;;;H;0;1;J;3;7;/;3;2查看分类表>
申请人安徽熙泰智能科技有限公司申请人地址
安徽省芜湖市芜湖长江大桥综合经济开发区高安街道经四路一号办公楼五楼 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人安徽熙泰智能科技有限公司当前权利人安徽熙泰智能科技有限公司
发明人曹贺;刘晓佳;吕迅;刘胜芳;赵铮涛
代理机构芜湖安汇知识产权代理有限公司代理人孟迪
摘要
一种兼容硅片与玻璃片的静电吸盘装置及等离子刻蚀设备,属于等离子刻蚀技术领域,其中的静电吸盘装置,包括基座及其上设置的静电吸盘,静电吸盘上放置待刻蚀的硅片或玻璃片,基座的外周方向上设置有多组压紧调节机构,多个压紧调节机构将玻璃片的外周压紧,本实用新型的有益效果是,该静电吸盘装置整体结构简单,操作方便灵活,可将硅片或玻璃片有效吸附,而不会造成玻璃片的击穿,提高了吸附的安全性和刻蚀的稳定性。

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