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生产掺氟氧化锡涂层的改进的化学蒸气沉积法

发明专利有效专利

申请号：
CN85109272
IPC分类号：--
申请日期：
1985-12-21
申请人：
M&T化学有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	生产掺氟氧化锡涂层的改进的化学蒸气沉积法
申请号	CN85109272	申请日期	1985-12-21
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	1986-07-09	公开/公告号	CN85109272
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	M&T化学有限公司	申请人地址	美国新泽西07095·伍德布里奇·伍德布里奇中心变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	M&T化学有限公司	当前权利人	M&T化学有限公司
发明人	乔治·H·林德
代理机构	上海专利事务所	代理人	徐志奇

摘要

本发明提出一种利用包含活性有机氟掺杂剂和有机锡化合物的液态涂层组成以形成掺氟氧化锡涂层的改进的化学蒸气沉积法，此方法在一组特定的工艺条件下实行，以致制得的涂层具有一个实质上与沉积温度无关的恒定的和最低的薄层电阻。

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