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超声波清洗装置以及清洗方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201510249519.8
  • IPC分类号:B08B3/12
  • 申请日期:
    2015-05-18
  • 申请人:
    张家港市超声电气有限公司
著录项信息
专利名称超声波清洗装置以及清洗方法
申请号CN201510249519.8申请日期2015-05-18
法律状态驳回申报国家中国
公开/公告日2016-10-05公开/公告号CN105983553A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B08B3/12IPC分类号B;0;8;B;3;/;1;2查看分类表>
申请人张家港市超声电气有限公司申请人地址
江苏省苏州市张家港市金港大道1001号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人张家港市超声电气有限公司当前权利人张家港市超声电气有限公司
发明人陈宏;薛晓敏
代理机构南京钟山专利代理有限公司代理人田媛;靳静
摘要
本发明涉及一种超声波清洗装置以及清洗方法,该装置包括:清洗槽,其用于存储清洗液;超声波发生器,其包括至少一个超声波振荡板,超声波振荡板设置在清洗槽内,超声波振荡板用于向存储在所述清洗槽内的清洗液施加超声波振动;气泡发生器,其能够在存储有清洗液的清洗槽中产生气泡,气泡发生器具有至少一个气泡逸出口,气泡逸出口能够向所述超声波振荡板的超声波振动路径上输送气泡,超声波振荡板能够向由所述气泡逸出口逸出的气泡施加超声波振动。使用该超声波清洗装置和清洗方法可大大节约清洗剂的使用量,使硅片清洗时更省水,省电,对环保作用也很大,最直接是大大降低了太阳能电池片加工成本。

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