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侧面有门的300毫米微环境舱

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN95197881.0
  • IPC分类号:--
  • 申请日期:
    1995-10-13
  • 申请人:
    伊帕克股份有限公司
著录项信息
专利名称侧面有门的300毫米微环境舱
申请号CN95197881.0申请日期1995-10-13
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日1998-06-17公开/公告号CN1185141
优先权暂无优先权号暂无
主分类号暂无IPC分类号暂无查看分类表>
申请人伊帕克股份有限公司申请人地址
美国明尼*** 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人伊帕克股份有限公司当前权利人伊帕克股份有限公司
发明人巴里·格雷格荪;布雷恩·怀斯曼;加里·加拉格尔
代理机构北京三幸商标专利事务所代理人刘激扬
摘要
本发明公布了一种用于形成微环境的容器。该容器包括壳体10、门90和多个具有独特设计的支承60,该支承用于按互相平行,相互隔开一定距离的方式牢固地夹持物品(例如硅晶片80)。支承可以取下。设有电气通路使支承接地。还设置有运动连接结构44-46,以便将容器放置表面上,使,例如,门能与晶片处理工具的口适当地对准。

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