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感光性组合物、图案形成材料、感光性层叠体、以及图案形成装置和图案形成方法

发明专利无效专利

申请号：
CN200680033451.9
IPC分类号：G03F7/004;G03F7/027;G03F7/031;G03F7/033
申请日期：
2006-09-01
申请人：
富士胶片株式会社

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	感光性组合物、图案形成材料、感光性层叠体、以及图案形成装置和图案形成方法
申请号	CN200680033451.9	申请日期	2006-09-01
法律状态	驳回	申报国家	中国
公开/公告日	2008-09-10	公开/公告号	CN101263423
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G03F7/004 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕 G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G） G03F7/00 图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备（用于特殊工艺的光致抗蚀剂结构见相关的位置，例如，B44C，H01L，例如，H01L 21/00，H05K）〔3，5〕 G03F7/004 感光材料（G03F 7/12，G03F 7/14优先）〔5〕	IPC分类号	G;0;3;F;7;/;0;0;4;;;G;0;3;F;7;/;0;2;7;;;G;0;3;F;7;/;0;3;1;;;G;0;3;F;7;/;0;3;3查看分类表>
申请人	富士胶片株式会社	申请人地址	日本国东京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	富士胶片株式会社	当前权利人	富士胶片株式会社
发明人	南一守;佐佐木义晴;若田裕一;高柳丘
代理机构	中科专利商标代理有限责任公司	代理人	朱丹

摘要

本发明提供相对于400～410nm波长的曝光光的感光度分布大致一定且不会被激光曝光时的曝光波长的偏差所影响、图案再现性出色、图案形状的偏差被极度抑制并可以在明室环境下进行处理的感光性组合物等。为此，该感光性组合物等的特征在于，至少含有粘合剂、聚合性化合物、光聚合引发剂、以及增感剂，该增感剂含有至少两种最大吸收波长为340～500nm的增感剂。

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