用于挥发性/热敏感固体和液体化合物的蒸发器/输送容器

发明专利无效专利

申请号：
CN02825485.6
IPC分类号：--
申请日期：
2002-11-21
申请人：
高级技术材料公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	用于挥发性/热敏感固体和液体化合物的蒸发器/输送容器
申请号	CN02825485.6	申请日期	2002-11-21
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2005-04-13	公开/公告号	CN1606632
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	高级技术材料公司	申请人地址	美国康涅狄格州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	高级技术材料公司	当前权利人	高级技术材料公司
发明人	马修·B·多纳图奇;王录平;詹姆斯·迈尔
代理机构	中原信达知识产权代理有限责任公司	代理人	郭国清;樊卫民

摘要

一种在蒸发器系统内均一加热条件下，用于蒸发固体和/或液体化学源材料的蒸发器系统，在蒸发器内减少蒸发源材料的冷凝，而且使“冷点”最小化，以提供基本上连续的蒸气流到达下游注入或沉积(如MOCVD)系统。蒸发器包括导热块，所述的导热块具有其中形成的多个延长井以持留蒸气源材料。在导热块内是与延长井连通的内部体积。密封所述的导热块以形成封闭的容器，向其中加热以同时均一地加热所有延长井并蒸发其中的源材料。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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