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一种质量分析器屏蔽结构

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201721283988.2
  • IPC分类号:H01J49/02
  • 申请日期:
    2017-10-01
  • 申请人:
    江苏天瑞仪器股份有限公司
著录项信息
专利名称一种质量分析器屏蔽结构
申请号CN201721283988.2申请日期2017-10-01
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01J49/02IPC分类号H;0;1;J;4;9;/;0;2查看分类表>
申请人江苏天瑞仪器股份有限公司申请人地址
江苏省苏州市昆山市玉山镇中华园西路1888号天瑞产业园 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人江苏天瑞仪器股份有限公司当前权利人江苏天瑞仪器股份有限公司
发明人陈兆超;张坤;周立
代理机构暂无代理人暂无
摘要
本实用新型公开了一种质量分析器屏蔽结构,屏蔽结构为一个头部具有凸缘且具有中心贯通腔室的金属筒体,屏蔽结构包括相互联结成整体的具有凸缘的头部、中部和尾部;位于头部的凸缘还包括固定孔、走线结构;中部包括大于等于1个的用于定位质量分析器的定位孔,大于等于1个的用于走线的走线孔;尾部通过同定位离子源组件的结构件相联结以使从离子源至质量分析器离子路径具有同轴结构;本实用新型公开的质量分析器屏蔽结构为一两端贯通的金属筒体,整个筒体由头部、中部和尾部组成,质量分析器安装于筒体中心位置,电磁屏蔽效果好,能够安装于不同的真空腔体中,可用于多种质量分析器的电磁屏蔽。

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