应用于半导体的高纯度、高浓度、小型化臭氧发生器

发明专利有效专利

申请号：
CN202110485361.X
IPC分类号：C01B13/11;C04B35/111;C04B35/622
申请日期：
2021-04-30
申请人：
大连博羽环保技术开发有限公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	应用于半导体的高纯度、高浓度、小型化臭氧发生器
申请号	CN202110485361.X	申请日期	2021-04-30
法律状态	实质审查	申报国家	暂无
公开/公告日	2021-08-20	公开/公告号	CN113277479A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C01B13/11 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C01 无机化学 C01B 非金属元素；其化合物（制备元素或二氧化碳以外无机化合物的发酵或用酶工艺入C12P 3/00；用电解法或电泳法生产非金属元素或无机化合物入C25B） C01B13/00 氧；臭氧；一般氧化物或氢氧化物 C01B13/10 臭氧的制备 C01B13/11 用放电法〔2〕	IPC分类号	C;0;1;B;1;3;/;1;1;;;C;0;4;B;3;5;/;1;1;1;;;C;0;4;B;3;5;/;6;2;2查看分类表>
申请人	大连博羽环保技术开发有限公司	申请人地址	辽宁省大连市高新技术产业园区科海街74号2单元8层2号-01 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	大连博羽环保技术开发有限公司	当前权利人	大连博羽环保技术开发有限公司
发明人	冷白羽;白敏菂
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本发明公开了应用于半导体的高纯度、高浓度、小型化臭氧发生器，所述高压放电组件为一体化高压放电组件；所述高压放电区域采用超窄间隙放电结构，该超窄间隙为0.025~0.1mm之间，所述高压放电组件的长度为兼顾臭氧产量和精加工精度的最大长度；所述氧气进口壳体、臭氧出口壳体、低压接地极板各为独立部件，相互之间采用多个螺栓连接；所述高压放电组件的厚度为0.92~2.2mm之间，用于兼顾电介质的最小耗能以及避免安全隐患；所述高压放电组件的电介质是通过改进、能够阻止放电的电介质材料；本发明将经过改造能够阻止放电的电介质材料、一体化高压放电组件、确保低压地电极和电介质之间为0.025~0.1mm的精加工结构进行有机结合，解决了本领域长期以来臭氧生产浓度不高技术难题。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供