钼铝钼金属膜的制备系统

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201520284033.3
IPC分类号：--
申请日期：
2015-05-05
申请人：
深圳南玻伟光导电膜有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	钼铝钼金属膜的制备系统
申请号	CN201520284033.3	申请日期	2015-05-05
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	深圳南玻伟光导电膜有限公司	申请人地址	湖北省宜昌市大连路38号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	宜昌南玻显示器件有限公司	当前权利人	宜昌南玻显示器件有限公司
发明人	池京容;郑建万;任伏军;石国强;王余刚
代理机构	广州华进联合专利商标代理有限公司	代理人	邓云鹏

摘要

本实用新型公开了一种钼铝钼金属膜的制备系统，包括：预处理装置，可对基底进行预处理；与预处理装置相连的磁控反应溅射镀膜腔室，可在通入工作气体和反应气体的条件下，利用磁控反应溅射在预处理过的基底上沉积氮化钼层；以及与磁控反应溅射镀膜腔室相连的磁控溅射镀膜腔室，可在真空度为0.1Pa～10Pa的条件下，利用磁控溅射在氮化钼层上依次沉积铝层和钼层。相对于传统的钼铝钼金属膜的制备系统，这种钼铝钼金属膜的制备系统通过氮化钼层取代钼层降低了金属性，从而降低了整体的消光系数、减少反射光能，调节进入氮化钼层的吸收光能和透射光能，使铝层的反射光和氮化钼层的反射光在基底表面形成干涉相消从而降低反射率。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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