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一种硅化铁薄膜及其制备方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201610820134.7
  • IPC分类号:C23C10/30;C23C10/02
  • 申请日期:
    2016-09-13
  • 申请人:
    佛山科学技术学院
著录项信息
专利名称一种硅化铁薄膜及其制备方法
申请号CN201610820134.7申请日期2016-09-13
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2016-12-07公开/公告号CN106191763A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C10/30IPC分类号C;2;3;C;1;0;/;3;0;;;C;2;3;C;1;0;/;0;2查看分类表>
申请人佛山科学技术学院申请人地址
广东省佛山市禅城区江湾一路18号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人佛山科学技术学院当前权利人佛山科学技术学院
发明人朱中槐;叶树林
代理机构深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙)代理人王永文;刘文求
摘要
本发明的一种硅化铁薄膜及其制备方法,其包括步骤:首先在待加工铁板表面和工具电极的工作面吸附一层硅粉;然后将脉冲电源的一极与铁板连接,脉冲电源的另一极与工具电极连接;开启脉冲电源,在铁板表面制得硅化铁薄膜。与现有技术相比,本发明具有制备工艺简单,加工效率高,生产成本低,硅化铁薄膜不易剥落的特点。

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