加载中...
首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

搬送机构

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN200910212114.1
  • IPC分类号:H01L21/677;H01L21/683
  • 申请日期:
    2009-11-10
  • 申请人:
    株式会社迪思科
著录项信息
专利名称搬送机构
申请号CN200910212114.1申请日期2009-11-10
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2010-06-16公开/公告号CN101740444A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/677IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;7;7;;;H;0;1;L;2;1;/;6;8;3查看分类表>
申请人株式会社迪思科申请人地址
日本东京都 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人株式会社迪思科当前权利人株式会社迪思科
发明人石井茂
代理机构永新专利商标代理有限公司代理人陈萍
摘要
提供一种搬送机构,即使在小尺寸的器件或在表面上形成有凹凸的器件的情况下,也能够稳定地搬送多个器件。搬送机构(15)具备壳体(48)、收容在该壳体(48)内的可动衬垫(62)以及可动衬垫移动构件(68)。将分割后的多个器件(30)收容至被定位在壳体(48)的搬出搬入位置(64)的可动衬垫(62)的收容凹部(70)后,使其与可动衬垫(62)一起移动至保持位置(66),在收容凹部(70)与壳体(48)的下面壁(74)之间保持器件(30),而搬送至收容盘(14),将壳体(48)的搬入搬出开口(82)定位在收容盘(14)的开口部(82)的正上方,并使可动衬垫(62)移动至搬入搬出位置(64)。

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供