晶硅铸锭炉热场热门控制装置

实用新型专利无效专利

申请号：
CN201020681915.0
IPC分类号：C30B28/06;C30B29/06
申请日期：
2010-12-27
申请人：
杭州精功机电研究所有限公司

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著录项信息

专利名称	晶硅铸锭炉热场热门控制装置
申请号	CN201020681915.0	申请日期	2010-12-27
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B28/06 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B28/00 制备具有一定结构的均匀多晶材料〔5〕 C30B28/04 由液态制备〔5〕 C30B28/06 正常凝固法或温度梯度凝固法〔5〕	IPC分类号	C;3;0;B;2;8;/;0;6;;;C;3;0;B;2;9;/;0;6查看分类表>
申请人	杭州精功机电研究所有限公司	申请人地址	浙江省杭州市江干区杭州经济技术开发区17号大街9号2幢第4层变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	杭州精功机电研究所有限公司	当前权利人	杭州精功机电研究所有限公司
发明人	赵波;王琤;徐芳华;任晓坜;高波;张瀛
代理机构	浙江翔隆专利事务所	代理人	张建青

摘要

本实用新型公开了一种晶硅铸锭炉热场热门控制装置。现有的晶硅铸锭炉热场热门控制方法中，有的方法可以做好初期的成核及能耗控制，而有的方法能保证后期的晶体生长速度，目前没有能达到两者完美结合的方法。本实用新型的特征在于所述绝热笼的下方设有一水冷板，该水冷板与绝热笼的底部之间设有多个纵向设置的百叶片，每个百叶片上贯穿一纵向设置的转动轴，所有的转动轴与一驱动机构连接，所有百叶片的轴接点位于同一水平线上，当所有的百叶片转动至水平位置时，所述的百叶片形成一将绝热笼底部封闭的平面板。本实用新型采用百叶结构来控制热门的开合，使铸锭过程更加容易控制，既能保持低能耗的晶体生长，同时又能充分利用散热面积。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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