一种具有便于更换的真空室内壳的离子镀膜装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202022081713.9
IPC分类号：C23C14/32;C23C14/50
申请日期：
2020-09-21
申请人：
杭州久诚仁和电镀有限公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种具有便于更换的真空室内壳的离子镀膜装置
申请号	CN202022081713.9	申请日期	2020-09-21
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/32 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/22 以镀覆工艺为特征的〔4〕 C23C14/24 真空蒸发〔4〕 C23C14/32 爆炸法；蒸发及随后的气化物电离法（C23C 14/34至C23C 14/48优先）〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;3;2;;;C;2;3;C;1;4;/;5;0查看分类表>
申请人	杭州久诚仁和电镀有限公司	申请人地址	浙江省杭州市余杭区仁和街道栅庄桥村变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	杭州久诚仁和电镀有限公司	当前权利人	杭州久诚仁和电镀有限公司
发明人	华雷刚;韩国东;叶新华;蒋贤明
代理机构	杭州广奥专利代理事务所（特殊普通合伙）	代理人	尹建民

摘要

本实用新型公开了一种具有便于更换的真空室内壳的离子镀膜装置，包括门体和电机，所述门体的内部设置有密封条，所述密封条的内部设置有真空罩，所述真空罩的右侧设置有合页，所述合页的右侧安装有真空腔，所述电机安装于真空腔的上方，所述真空腔的内部安装有第一框架，所述第一框架的内部安装有螺栓，所述螺栓的下方安装有放置框，所述放置框的左右两侧均安装有卡块，所述真空腔的右侧安装有抽气管，所述抽气管的上方设置有等离子电弧源，且真空腔与等离子电弧源之间为固定连接。该离子镀膜装置设置有放置框，使得方便进行更换，并且设置有转轴，使得镀膜时更加的稳定，同时设置有卡块，使得放置框安装更加的稳定。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供