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机械手臂校正工具

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN200720072522.8
  • IPC分类号:B25J19/00;H01L21/687
  • 申请日期:
    2007-07-17
  • 申请人:
    中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
著录项信息
专利名称机械手臂校正工具
申请号CN200720072522.8申请日期2007-07-17
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B25J19/00IPC分类号B;2;5;J;1;9;/;0;0;;;H;0;1;L;2;1;/;6;8;7查看分类表>
申请人中芯国际集成电路制造(上海)有限公司申请人地址
变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,中芯国际集成电路制造(北京)有限公司当前权利人中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
发明人张勇;史旭;李亮亮;陈中林
代理机构上海智信专利代理有限公司代理人王洁
摘要
本实用新型提供了一种机械手臂校正工具,用于校正机械手臂相对于一对准轴的位置,所述机械手臂的端部具有一弧形开口,对准轴是一圆柱体,所述的校正工具是一块平板,其中央具有一环形凸台,且所述环形凸台的内径等于对准轴的直径,外半径等于机械手臂弧形开口上的点到对准轴中心的水平距离。采用本实用新型的机械手臂校正工具可方便准确地完成机械手臂相对于对准轴的初始位置校正,与现有技术中通过目测和直尺测量相比,其校正精度和速度大大提高,并能保证不同的操作人员校正出相同的结果。

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