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*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

真空镀膜设备

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201721367724.5
  • IPC分类号:C23C14/54;C23C14/52
  • 申请日期:
    2017-10-23
  • 申请人:
    君泰创新(北京)科技有限公司
著录项信息
专利名称真空镀膜设备
申请号CN201721367724.5申请日期2017-10-23
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/54IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;5;4;;;C;2;3;C;1;4;/;5;2查看分类表>
申请人君泰创新(北京)科技有限公司申请人地址
北京市通州区中关村科技园区通州园金桥科技产业基地环科中路17号26幢1至3层102-LQ307 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人德运创鑫(北京)科技有限公司当前权利人德运创鑫(北京)科技有限公司
发明人张文
代理机构北京维澳专利代理有限公司代理人周放;姜溯洲
摘要
本实用新型提供了一种真空镀膜设备,包括:顶盖,朝向工作腔内部的一侧设置有加热丝;第一温度传感器,设置在工作腔的顶部;第二温度传感器,设置在顶盖的上方;第三温度传感器,设置在工作腔的底板的下方;顶盖上设置有第一透明观察窗,第一透明观察窗位于第二温度传感器的正下方;工作腔的底部设置有第二透明观察窗,第二透明观察窗位于第三温度传感器的正上方。本实用新型提供的真空镀膜设备通过在顶盖上方设置第二温度传感器,在工作腔的下方设置第三温度传感器,并利用透明观察窗的设置分别对基板上方和下方进行红外测温,保证了基板稳定在工艺要求温度,实现了优良的工艺结果。

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