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一种薄膜太阳能电池真空蒸镀掩膜板卡具

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202023022333.4
IPC分类号：C23C14/04;C23C14/24;C23C14/54
申请日期：
2020-12-15
申请人：
华能新能源股份有限公司;中国华能集团清洁能源技术研究院有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	一种薄膜太阳能电池真空蒸镀掩膜板卡具
申请号	CN202023022333.4	申请日期	2020-12-15
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/04 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/04 局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;0;4;;;C;2;3;C;1;4;/;2;4;;;C;2;3;C;1;4;/;5;4查看分类表>
申请人	华能新能源股份有限公司;中国华能集团清洁能源技术研究院有限公司	申请人地址	北京市海淀区复兴路甲23号华能大厦10、11层变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	华能新能源股份有限公司,中国华能集团清洁能源技术研究院有限公司	当前权利人	华能新能源股份有限公司,中国华能集团清洁能源技术研究院有限公司
发明人	熊继光;赵志国;秦校军;肖平;赵东明;邬俊波;董超;刘家梁;王百月;冯笑丹;梁思超;王森;张杰
代理机构	西安通大专利代理有限责任公司	代理人	李鹏威

摘要

本实用新型公开了一种薄膜太阳能电池真空蒸镀掩膜板卡具，包括卡具骨架和连接在卡具骨架上的若干挡板，相邻两挡板的相对面上设置有高度相同的一套支撑台阶，所述支撑台阶用于支撑放置掩膜板，若干挡板提供的所有支撑台阶中至少包含两套高度不同的支撑台阶，本实用新型可以在需要蒸镀不同厚度电极时，减少蒸镀次数和蒸镀损耗，以节省时间和成本。

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