一种低温双层隔离式MEMS微波功率传感器

发明专利无效专利

申请号：
CN201310065237.3
IPC分类号：G01R21/02;G01R3/00;B81C1/00
申请日期：
2013-03-01
申请人：
东南大学

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种低温双层隔离式MEMS微波功率传感器
申请号	CN201310065237.3	申请日期	2013-03-01
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2013-06-12	公开/公告号	CN103149423A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01R21/02 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01R 测量电变量；测量磁变量（指示谐振电路的正确调谐入H03J 3/12） G01R21/00 电功率、功率因数的测量装置（G01R 7/12优先）〔4〕 G01R21/02 用热方法〔2〕	IPC分类号	G;0;1;R;2;1;/;0;2;;;G;0;1;R;3;/;0;0;;;B;8;1;C;1;/;0;0查看分类表>
申请人	东南大学	申请人地址	江苏省南京市玄武区四牌楼2号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	东南大学	当前权利人	东南大学
发明人	廖小平;周锐
代理机构	南京苏高专利商标事务所（普通合伙）	代理人	柏尚春

摘要

本发明公开了一种低温双层隔离式MEMS微波功率传感器，其通过在现有MEMS微波功率传感器的外围，刻蚀内隔离环和外隔离环，将微波功率传感器包围起来形成隔离岛。同时又在内隔离环内侧设有第一加热电路和第二加热电路，利用热电阻加热，保持MEMS微波功率传感器工作在常温下，进一步减小了环境温度对现有MEMS微波功率传感器灵敏度的影响，从而提高了传感器对微波功率的测试精度。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供