压电振动片的制造方法及压电振动片、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟

发明专利无效专利

申请号：
CN201010587497.3
IPC分类号：H03H3/02;H03H9/21;G04C9/02
申请日期：
2010-11-30
申请人：
精工电子有限公司

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专利名称	压电振动片的制造方法及压电振动片、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟
申请号	CN201010587497.3	申请日期	2010-11-30
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2011-06-01	公开/公告号	CN102082556A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H03H3/02 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H03 基本电子电路 H03H 阻抗网络，例如谐振电路；谐振器（测量，试验入G01R；产生混响或回声装置入G10K 15/08；由分布阻抗，例如波导型，组成的阻抗网络或谐振器入H01P；放大的控制，例如放大器的带宽控制入H03G；调谐谐振电路，例如调谐耦合谐振电路入H03J；改善通信系统频率特性的网络入H04B） H03H3/00 专用于制造阻抗网络、谐振电路、谐振器的设备或方法 H03H3/007 用于制造机电谐振器或网络〔3〕 H03H3/02 用于制造压电或电致伸缩谐振器或网络（H03H 3/08优先）〔3〕	IPC分类号	H;0;3;H;3;/;0;2;;;H;0;3;H;9;/;2;1;;;G;0;4;C;9;/;0;2查看分类表>
申请人	精工电子有限公司	申请人地址	日本千叶县千叶市变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	精工电子有限公司	当前权利人	精工电子有限公司
发明人	河口昌之
代理机构	中国专利代理（香港）有限公司	代理人	何欣亭;王忠忠

摘要

本发明提供准确挑选次品并能提高商品的可靠性的压电振动片的制造方法及压电振动片、以及具备压电振动片的压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟。具有如下特征：在抗蚀剂图案的形成工序中，以使光掩模(30)与光刻胶膜密合的状态对光刻胶膜进行接触式曝光，从而形成抗蚀剂图案，在抗蚀剂图案的形成工序的前段中包括光掩模加工工序，在光掩模(30)中的与外形图案相当的外形相当区域(33)发现了缺陷时，除去一部分遮光膜图案(35)，变更存在伤痕(K)的外形相当区域(33)的形状。

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