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制备多晶硅颗粒的方法和装置

发明专利无效专利

申请号：
CN01140960.6
IPC分类号：--
申请日期：
2001-09-26
申请人：
韩国化学研究院

基础信息

权利要求

说明书

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	制备多晶硅颗粒的方法和装置
申请号	CN01140960.6	申请日期	2001-09-26
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2002-08-14	公开/公告号	CN1363417
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	韩国化学研究院	申请人地址	韩国大田变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	韩国化学研究院	当前权利人	韩国化学研究院
发明人	金希泳;朴容起
代理机构	中国国际贸易促进委员会专利商标事务所	代理人	刘金辉

摘要

本发明涉及制备多晶硅的方法和装置，更具体地说，为了更有效地防止硅沉积在反应气供给装置的出口表面上以及能连续地运转反应器以批量生产多晶硅颗粒，本发明涉及的是通过装备有可提供含有氯化氢蚀刻气体的喷嘴的流化床反应器制备粒状多晶硅的方法和装置。

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