压电驱动装置、马达、机器人以及泵

发明专利有效专利

申请号：
CN201710059759.0
IPC分类号：H01L41/08;H01L41/09;H01L41/18;H01L41/22
申请日期：
2017-01-24
申请人：
精工爱普生株式会社

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法律信息

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著录项信息

专利名称	压电驱动装置、马达、机器人以及泵
申请号	CN201710059759.0	申请日期	2017-01-24
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2017-08-18	公开/公告号	CN107068850A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L41/08 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L41/00 一般压电器件；一般电致伸缩器件；一般磁致伸缩器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的方法或设备；这些器件的零部件（由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件组成的器件入H01L 27/00）〔2〕 H01L41/08 压电器件或电致伸缩器件〔2〕	IPC分类号	H;0;1;L;4;1;/;0;8;;;H;0;1;L;4;1;/;0;9;;;H;0;1;L;4;1;/;1;8;;;H;0;1;L;4;1;/;2;2查看分类表>
申请人	精工爱普生株式会社	申请人地址	日本东京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	精工爱普生株式会社	当前权利人	精工爱普生株式会社
发明人	古林智一;山田大介
代理机构	北京康信知识产权代理有限责任公司	代理人	田喜庆

摘要

本发明提供具备电极的导电性良好且耐绝缘性良好、可靠性高的薄膜压电元件的压电驱动装置，具备：振动板；第一电极层，设置于振动板上方；压电体层，设置于第一电极层上方；第二电极层，设置于压电体层上方；绝缘层，设置成覆盖第一电极层、压电体层及第二电极层的上表面；布线层，设置于绝缘层上方并与第二电极层导通，在第一电极层、压电体层及第二电极层重叠的部分形成有源部，有源部在俯视时具有长边方向和短边方向，在短边方向的两端，第一电极层的端被配置在与布线层的端相同或者比布线层的端靠外侧的位置，第二电极层的端被配置在与布线层的端相同或者比布线层的端靠内侧的位置，第一电极层的端被配置在比第二电极层的端靠外侧的位置。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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