反射镜的布置

发明专利有效专利

申请号：
CN201280064971.1
IPC分类号：G02B5/09;G21K1/06;G03F7/20
申请日期：
2012-11-14
申请人：
卡尔蔡司SMT有限责任公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	反射镜的布置
申请号	CN201280064971.1	申请日期	2012-11-14
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2014-08-27	公开/公告号	CN104011568A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G02B5/09 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G02 光学 G02B 光学元件、系统或仪器（G02F优先；专用于照明装置或系统的光学元件入F21V 1/00至F21V 13/00；测量仪器见G01类的有关小类，例如，光学测距仪入G01C；光学元件、系统或仪器的测试入G01M 11/00；眼镜入G02C；摄影、放映或观看用的装置或设备入G03B；声透镜入G10K 11/30；电子和离子“光学”入H01J；X射线“光学”入H01J，H05G 1/00；结构上与放电管相组合的光学元件入H01J 5/16，H01J 29/89，H01J 37/22；微波“光学”入H01Q；光学元件与电视接收机的组合装置入H04N 5/72；彩色电视系统中的光学系统或装置入H04N 9/00；专门适用于透明或反射区的加热装置入H05B 3/84）〔1，7〕 G02B5/00 除透镜外的光学元件（光波导入G02B 6/00；光学逻辑元件入G02F 3/00）〔4〕 G02B5/08 反射镜 G02B5/09 多面或多角反射镜〔6〕	IPC分类号	G;0;2;B;5;/;0;9;;;G;2;1;K;1;/;0;6;;;G;0;3;F;7;/;2;0查看分类表>
申请人	卡尔蔡司SMT有限责任公司	申请人地址	德国上科亨变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	卡尔蔡司SMT有限责任公司	当前权利人	卡尔蔡司SMT有限责任公司
发明人	J.劳夫;H.费尔德曼;M.莱
代理机构	北京市柳沈律师事务所	代理人	邱军

摘要

一种用于EUV辐射(14)的反射镜(20)，包含总反射表面(24)，该总反射表面具有第一EUV辐射反射区和至少一个第二EUV辐射反射区，其中所述EUV辐射反射区在结构上彼此定界开，所述第一区包含至少一个第一部分反射表面(22)，所述第一部分反射表面(22)在各个情况下由所述至少一个第二区沿着周边(31)围绕，所述至少一个第二EUV辐射反射区包含至少一个第二部分反射表面(23)，该第二部分反射表面以路径连接的方式实现且以连续方式实现。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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该专利没有被任何外部专利所引用！

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