一种侧向锁紧装置

发明专利有效专利

申请号：
CN201010255096.8
IPC分类号：H02K15/02
申请日期：
2010-08-17
申请人：
上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司

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著录项信息

专利名称	一种侧向锁紧装置
申请号	CN201010255096.8	申请日期	2010-08-17
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2012-03-14	公开/公告号	CN102377289A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H02K15/02 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H02 发电、变电或配电 H02K 电机（电动继电器入H01H 53/00；直流或交流电力输入变换为浪涌电力输出入H02M 9/00） H02K15/00 专用于制造、装配、维护或修理电机的方法或设备 H02K15/02 定子或转子本体的	IPC分类号	H;0;2;K;1;5;/;0;2查看分类表>
申请人	上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司	申请人地址	上海市浦东区张江高科技园区张东路1525号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海微高精密机械工程有限公司,上海微电子装备（集团）股份有限公司	当前权利人	上海微高精密机械工程有限公司,上海微电子装备（集团）股份有限公司
发明人	方洁;齐芊枫;李志龙
代理机构	北京连和连知识产权代理有限公司	代理人	王光辉

摘要

一种侧向锁紧装置，用于光刻机工件台系统微动模块的装配，包括连接架，连接多个微动电机定子与微动底板；所述连接架中还包括若干定位柱，定位柱上端通过预紧装置与连接架固定，定位柱下端连接底部的定位销；定位柱中间开有横向贯通的孔；水平推板，安装在与微动底板连接的直线导轨上；水平推板的一端还包括一具有楔形导向部位的锁紧销，锁紧销水平插入所述定位柱的所述横向贯通的孔中；侧向锁紧螺纹件，通过在固定于微动底板的螺母座中的旋转运动，推动水平推板使锁紧销完成进给和锁定；以及长螺钉，螺纹部分水平插入水平推板的另一端，对锁紧螺纹件和螺母座进行防松锁定。本发明克服微动电机定子与微动底板在安装与拆卸过程中方位和空间的限制，方便微动模块的维修和维护。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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