半导体处理装置的石英制品检测方法及检测辅助装置

发明专利无效专利

申请号：
CN200480029726.2
IPC分类号：G01N1/32;G01N1/28
申请日期：
2004-09-06
申请人：
东京毅力科创株式会社

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法律信息

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著录项信息

专利名称	半导体处理装置的石英制品检测方法及检测辅助装置
申请号	CN200480029726.2	申请日期	2004-09-06
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2006-11-22	公开/公告号	CN1867818
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N1/32 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N1/00 取样；制备测试用的样品（用于自动分析的材料处理入G01N 35/00） G01N1/28 测试用样品的制备（将样品安装在显微镜载片上入G02B 21/34；电子显微镜中支承被分析的物品或材料的装置入H01J 37/20） G01N1/32 抛光；腐蚀	IPC分类号	G;0;1;N;1;/;3;2;;;G;0;1;N;1;/;2;8查看分类表>
申请人	东京毅力科创株式会社	申请人地址	日本东京变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	东京毅力科创株式会社	当前权利人	东京毅力科创株式会社
发明人	及川雅之;安倍胜彦;高桥信博;林辉幸
代理机构	北京尚诚知识产权代理有限公司	代理人	龙淳

摘要

本发明提供一种检测辅助装置(3)，其用于，使半导体处理装置的石英制棒状部件(21)的检测对象部分接触由蚀刻液组成的处理液，然后分析处理液，测定在检测对象部分中含有的金属杂质的检测。棒状部件(21)具有位于夹持检测对象部分的一对凹部(22)。检测辅助装置(3)具有，与一对凹部结合的一对端板(32)、连接一对端板的框架(30)和在一对端板间设置的液体接受部(31)。液体接受部(31)贮留处理液，并具有使检测对象部分与处理液接触的尺寸。

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