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聚合酶链式反应微芯片的结构设计及制作方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN200310122607.9
  • IPC分类号:C12Q1/68
  • 申请日期:
    2003-12-19
  • 申请人:
    中国科学院上海微系统与信息技术研究所
著录项信息
专利名称聚合酶链式反应微芯片的结构设计及制作方法
申请号CN200310122607.9申请日期2003-12-19
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2004-12-08公开/公告号CN1552887
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C12Q1/68IPC分类号C;1;2;Q;1;/;6;8查看分类表>
申请人中国科学院上海微系统与信息技术研究所申请人地址
上海市长宁区长宁路865号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中国科学院上海微系统与信息技术研究所当前权利人中国科学院上海微系统与信息技术研究所
发明人赵建龙;邹志青;周天;陈飞;徐元森
代理机构上海智信专利代理有限公司代理人潘振甦
摘要
本发明涉及一种聚合酶链式反应微芯片的结构设计及制作方法。结构设计特征在于以硅片作为芯片的基片,在硅片正面刻蚀微池,上面键合Pyrex硼硅玻璃,形成密闭的微腔;玻璃上有进出孔,微型的加热器和温度待热器在硅片反面。其制作特征在于包括PCR微芯片的制作和PCR微芯片的封装两部分。采用倒装焊接工艺很容易实现PCR微芯片阵列,在同一块PCB板上倒装焊接多个相同的PCR微芯片,形成PCR微芯片阵列。本发明优点在于提供的PCR微芯片结构设计体积小,热容低,同时集成了微型加热器和温度传感器;封装采用IC工艺的倒装焊法且有利于PCR微芯片阵列的制作。

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