基于金属溅射薄膜技术的烧蚀传感器

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201521098162.X
IPC分类号：G01B7/06
申请日期：
2015-12-25
申请人：
陕西电器研究所

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著录项信息

专利名称	基于金属溅射薄膜技术的烧蚀传感器
申请号	CN201521098162.X	申请日期	2015-12-25
法律状态	授权	申报国家	暂无
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B7/06 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B7/00 以采用电或磁的方法为特征的计量设备 G01B7/02 用于计量长度、宽度或厚度（G01B 7/004，G01B 7/12优先）〔6〕 G01B7/06 用于计量厚度	IPC分类号	G;0;1;B;7;/;0;6查看分类表>
申请人	陕西电器研究所	申请人地址	陕西省西安市灞桥区洪庆镇田王街特字1号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	陕西电器研究所	当前权利人	陕西电器研究所
发明人	李炜;孔凡玲
代理机构	西安文盛专利代理有限公司	代理人	李中群

摘要

本实用新型涉及一种基于金属溅射薄膜技术的烧蚀传感器，包括一个内置有烧蚀传感器敏感组件的外壳，其中烧蚀传感器敏感组件由金属丝栅、基底材料、引线组成，金属丝栅通过金属溅射薄膜工艺镀在基底材料上，引线的一端与金属丝栅连接，另一端自外壳向外引出的信号传接至信号调理模块，在外壳与烧蚀传感器敏感组件之间塞置有填充物。本实用新型的特点是可实现对C/C复合材料的线烧蚀量进行实时在线测量，输出信号大小与C/C复合材料线烧蚀量的变化成正比例关系，同时分辨率高、测量精度高，对被测材料本体的破坏也很小。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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