利用激光空化微射流进行微加工的方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201110173654.0
IPC分类号：B23K26/36;B23K26/16
申请日期：
2011-06-24
申请人：
广东工业大学

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	利用激光空化微射流进行微加工的方法
申请号	CN201110173654.0	申请日期	2011-06-24
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2011-11-23	公开/公告号	CN102248308A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B23K26/36 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B23 机床；其他类目中不包括的金属加工 B23K 钎焊或脱焊；焊接；用钎焊或焊接方法包覆或镀敷；局部加热切割，如火焰切割；用激光束加工（用金属的挤压来制造金属包覆产品入B21C 23/22；用铸造方法制造衬套或包覆层入B22D 19/08；用浸入方式的铸造入B22D 23/04；用烧结金属粉末制造复合层入B22F 7/00；机床上的仿形加工或控制装置入B23Q；不包含在其他类目中的包覆金属或金属包覆材料入C23C；燃烧器入F23D） B23K26/00 用激光束加工，例如焊接，切割或打孔〔2，3，2014.01〕 B23K26/36 除掉材料（B23J26/55，B23K26/57优先）〔7，2014.01〕	IPC分类号	B;2;3;K;2;6;/;3;6;;;B;2;3;K;2;6;/;1;6查看分类表>
申请人	广东工业大学	申请人地址	广东省广州市番禺区广州大学城外环西路100号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	广东工业大学	当前权利人	广东工业大学
发明人	郭钟宁;黄志刚;刘国跃;张永俊;邓宇
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本发明公开了一种利用激光空化微射流进行微加工的方法，包括以下步骤：1)将待加工的工件置于液体中；2)激光束通过透镜组在工件附近的液体中聚焦，焦点处产生空化效应；3)空化效应引发指向工件的高速微射流，并同时产生高强度的微冲击波；4)高速微射流冲击到工件表面形成的极高压强对工件表面的材料形成破坏，高速微射流、微冲击波协同去除工件表面材料；5)在连续激光脉冲的作用下，并辅以激光头的纵向或横向进给，在工件上加工出微细表面结构。相比现有技术的激光蚀刻技术，本发明的热效应低，避免了工件的热损伤，同时在加工过程中不会产生加工飞溅物的重新沉积现象，可获得更高的加工精度，还有助于提高加工效率。

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