一种清针组件及探针台

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201821884391.8
IPC分类号：G01R1/04;B08B1/04
申请日期：
2018-11-16
申请人：
深圳市矽电半导体设备有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种清针组件及探针台
申请号	CN201821884391.8	申请日期	2018-11-16
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01R1/04 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01R 测量电变量；测量磁变量（指示谐振电路的正确调谐入H03J 3/12） G01R1/00 包括在G01R5/00至G01R13/00或G01R 31/00组中的各类仪器或装置的零部件（测量电消耗量的机电装置所特有的结构零部件入G01R 11/02）〔3，8〕 G01R1/02 一般结构零部件 G01R1/04 外壳；支承构件；端子装置	IPC分类号	G;0;1;R;1;/;0;4;;;B;0;8;B;1;/;0;4查看分类表>
申请人	深圳市矽电半导体设备有限公司	申请人地址	广东省深圳市龙岗区龙城街道黄阁坑社区龙城工业园3号厂房三楼东区、五楼中西区变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	矽电半导体设备（深圳）股份有限公司	当前权利人	矽电半导体设备（深圳）股份有限公司
发明人	刘振辉;沈杰
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本实用新型公开了一种清针组件。所述清针组件包括，环状清洁部，包括安装本体和刷毛，刷毛连接于安装本体环状边沿；驱动电机，连接于安装本体；所述驱动电机带动所述环状清洁部运动；驱动电机固定于第一连接部；调位气缸，包括固定部和滑动部，在气压作用下，所述滑动部相对于固定部运动；所述滑动部连接于第一连接部；刷毛利用率高，刷毛的清洁力强；结构简单，使用方便可靠。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

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