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垂直式热处理炉结构

发明专利无效专利

申请号：
CN201110412421.1
IPC分类号：C23C14/22;C23C14/58;H01L31/18
申请日期：
2011-12-13
申请人：
核心能源实业有限公司;吉村俊秋

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	垂直式热处理炉结构
申请号	CN201110412421.1	申请日期	2011-12-13
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2013-05-29	公开/公告号	CN103122448A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/22 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/22 以镀覆工艺为特征的〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;2;2;;;C;2;3;C;1;4;/;5;8;;;H;0;1;L;3;1;/;1;8查看分类表>
申请人	核心能源实业有限公司;吉村俊秋	申请人地址	中国台湾台北市变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	核心能源实业有限公司,吉村俊秋	当前权利人	核心能源实业有限公司,吉村俊秋
发明人	萧盈诗;吉村俊秋
代理机构	中科专利商标代理有限责任公司	代理人	汤保平

摘要

一种垂直式热处理炉结构，包括：一外炉体、一内炉体、一加热机构、一供气机构，及一控制机构，通过控制机构控制进气量可有效使得，内炉体外侧流动空间中第一压力(P1)，始终大于内炉体内侧反应空间中第二压力(P2)。通过此设计可使得反应气体流速可加快，增快薄膜反应速率，且提升膜质均匀度，同时也可提升降温速率，增加操作安全性。

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