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准分子灯

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200680013295.X
  • IPC分类号:H01J65/00;H01J61/92
  • 申请日期:
    2006-03-28
  • 申请人:
    豪雅冠得股份有限公司
著录项信息
专利名称准分子灯
申请号CN200680013295.X申请日期2006-03-28
法律状态撤回申报国家暂无
公开/公告日2008-04-16公开/公告号CN101164136
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01J65/00IPC分类号H;0;1;J;6;5;/;0;0;;;H;0;1;J;6;1;/;9;2查看分类表>
申请人豪雅冠得股份有限公司申请人地址
日本埼玉县户田市 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人豪雅冠得股份有限公司当前权利人豪雅冠得股份有限公司
发明人大岛启嘉;小林纪雄
代理机构北京集佳知识产权代理有限公司代理人李德山;朱胜
摘要
可以提供一种增大准分子光的发射输出的准分子灯。该准分子灯至少包括布置在光发射方向的光发射窗(3)和多个被布置成彼此相对的准分子放电电极(2)。在相对的电极之间形成的放电空间(5)中的准分子放电气体产生放电,从而发射准分子光。准分子放电电极(2)是平板电极。在平板电极之间布置了多个放电空间(5)。与所述放电空间(5)的放电路径平行地布置光发射窗(3)。

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