一种可见光波段氮化硅光束偏转芯片

发明专利有效专利

申请号：
CN201811143021.3
IPC分类号：G02B6/125;G02B6/126
申请日期：
2018-09-28
申请人：
上海理工大学

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专利名称	一种可见光波段氮化硅光束偏转芯片
申请号	CN201811143021.3	申请日期	2018-09-28
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2019-01-25	公开/公告号	CN109270628A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G02B6/125 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G02 光学 G02B 光学元件、系统或仪器（G02F优先；专用于照明装置或系统的光学元件入F21V 1/00至F21V 13/00；测量仪器见G01类的有关小类，例如，光学测距仪入G01C；光学元件、系统或仪器的测试入G01M 11/00；眼镜入G02C；摄影、放映或观看用的装置或设备入G03B；声透镜入G10K 11/30；电子和离子“光学”入H01J；X射线“光学”入H01J，H05G 1/00；结构上与放电管相组合的光学元件入H01J 5/16，H01J 29/89，H01J 37/22；微波“光学”入H01Q；光学元件与电视接收机的组合装置入H04N 5/72；彩色电视系统中的光学系统或装置入H04N 9/00；专门适用于透明或反射区的加热装置入H05B 3/84）〔1，7〕 G02B6/00 光导；包含光导和其他光学元件（如耦合器）的装置的结构零部件〔4，6〕 G02B6/10 光波导式的（G02B 6/02，G02B 6/24优先，用电、磁、电磁或电声装置进行光的控制入G02F 1/00；变换受调制光的调制入G02F 2/00；光学逻辑元件入G02F 3/00；光学模拟/数字变换器入G02F 7/00；使用电光元件的存储器入G11C 11/42；电波导管入H01P；通过光学装置传输信息的入H04B 10/00；多路系统入H04J 14/00）〔4，8〕 G02B6/12 集成光路类型（单晶的制备和加工入C30B；集成电路入H01L 27/00）〔4〕 G02B6/122 基本光学元件，例如，传导光的光路〔6〕 G02B6/125 弯转、分支或交叉〔6〕	IPC分类号	G;0;2;B;6;/;1;2;5;;;G;0;2;B;6;/;1;2;6查看分类表>
申请人	上海理工大学	申请人地址	上海市杨浦区军工路516号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海理工大学	当前权利人	上海理工大学
发明人	冯吉军;仲路铭;张福领;曾和平
代理机构	上海邦德专利代理事务所（普通合伙）	代理人	袁步兰

摘要

本发明提出了可见光波段氮化硅光束偏转芯片，包括硅基衬底、二氧化硅缓冲层、二氧化硅包层和基于氮化硅波导的芯层；二氧化硅缓冲层设置在所述硅基衬底上；二氧化硅包层附在二氧化硅缓冲层上；芯层包括光分束单元、第一弯曲波导、第二弯曲波导、热光移相器和出射波导阵列；光分束单元、第一弯曲波导、第二弯曲波导和出射波导阵列位于所述述二氧化硅包层内且位于所述述二氧化硅缓冲层上；所述热光移相器置于所述二氧化硅包层上；光分束单元包括多个基于氮化硅波导的分束器；所述分束器的工作带宽480nm～645nm。本发明基于氮化硅制作，尺寸小，结构紧凑且加工简单，制作容差大，产品良率高，可实现可见光均匀分束、相位调制及光束偏转。

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