带图案的基材的制造方法、电路基板的制造方法及触摸面板的制造方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201980059678.8
IPC分类号：G03F7/004;G03F7/039;G03F7/11;G03F7/38;G06F3/041;G06F3/044;H05K3/06
申请日期：
2019-08-15
申请人：
富士胶片株式会社

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法律信息

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著录项信息

专利名称	带图案的基材的制造方法、电路基板的制造方法及触摸面板的制造方法
申请号	CN201980059678.8	申请日期	2019-08-15
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-04-30	公开/公告号	CN112740107A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G03F7/004 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕 G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G） G03F7/00 图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备（用于特殊工艺的光致抗蚀剂结构见相关的位置，例如，B44C，H01L，例如，H01L 21/00，H05K）〔3，5〕 G03F7/004 感光材料（G03F 7/12，G03F 7/14优先）〔5〕	IPC分类号	G;0;3;F;7;/;0;0;4;;;G;0;3;F;7;/;0;3;9;;;G;0;3;F;7;/;1;1;;;G;0;3;F;7;/;3;8;;;G;0;6;F;3;/;0;4;1;;;G;0;6;F;3;/;0;4;4;;;H;0;5;K;3;/;0;6查看分类表>
申请人	富士胶片株式会社	申请人地址	日本国东京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	富士胶片株式会社	当前权利人	富士胶片株式会社
发明人	石坂壮二;汉那慎一
代理机构	中科专利商标代理有限责任公司	代理人	薛海蛟

摘要

一种带图案的基材的制造方法及其应用，所述方法中，依次进行如下工序：在具有支承于临时支承体的感光性树脂组合物层的感光性转印材料的感光性树脂组合物层侧贴合基材的工序；剥离临时支承体的工序；将感光性树脂组合物层进行图案曝光的工序；在经图案曝光的感光性树脂组合物层侧的最外层贴合保护膜的工序；卷绕依次层叠基材、经图案曝光的感光性树脂组合物层及保护膜而成的层叠体的工序；放卷卷绕的层叠体并剥离保护膜的工序；及将经图案曝光的感光性树脂组合物层进行显影以形成感光性树脂组合物层的图案的工序。

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