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一种硅片切割机用切削液循环装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201510721298.X
  • IPC分类号:B28D7/02
  • 申请日期:
    2015-10-30
  • 申请人:
    浙江辉弘光电能源有限公司
著录项信息
专利名称一种硅片切割机用切削液循环装置
申请号CN201510721298.X申请日期2015-10-30
法律状态暂无申报国家暂无
公开/公告日2016-01-27公开/公告号CN105269703A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B28D7/02IPC分类号B;2;8;D;7;/;0;2查看分类表>
申请人浙江辉弘光电能源有限公司申请人地址
安徽省宣城市郎溪县建平镇郎川大道市场监督管理局办公楼501室 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人郎溪品旭科技发展有限公司当前权利人郎溪品旭科技发展有限公司
发明人陈小力;刘佳
代理机构杭州华鼎知识产权代理事务所(普通合伙)代理人胡根良
摘要
本发明涉及一种硅片切割机用切削液循环装置,解决了现有技术中用于硅片切割机的切削液循环系统容易在管道内积聚大量的泡沫,容易造成硅片在切割时损坏的不足。本发明提供的一种硅片切割机用切削液循环装置,储水桶连接有供水泵,供水泵通过供水管将切削液供入切割机的水箱内,水箱内参与切割后的切削液经溢流口进入溢流管内,溢流管上串接有去泡池,去泡池上开设有进水口和出水口,并且,进水口的水平高度高于出水口的水平高度,在出水口内设有安全阀,出水口排出的切削液经沉淀、过滤、再沉淀之后进入储水桶内进行循环使用。

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