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具有差异性掺杂的太阳能电池的单次扩散制造方法

发明专利无效专利

申请号：
CN200810167661.8
IPC分类号：H01L31/18
申请日期：
2008-10-20
申请人：
昱晶能源科技股份有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	具有差异性掺杂的太阳能电池的单次扩散制造方法
申请号	CN200810167661.8	申请日期	2008-10-20
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2010-06-09	公开/公告号	CN101728452A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L31/18 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L31/058 （转入H01L 31/0525，H02S 40/44） H01L31/18 专门适用于制造或处理这些器件或其部件的方法或设备〔2〕	IPC分类号	H;0;1;L;3;1;/;1;8查看分类表>
申请人	昱晶能源科技股份有限公司	申请人地址	中国台湾苗栗县竹南镇新竹科学园区科北一路21号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	昱晶能源科技股份有限公司	当前权利人	昱晶能源科技股份有限公司
发明人	郭明锦;黄志强;吴立国;康仁和;欧乃天;陈添赐
代理机构	北京律诚同业知识产权代理有限公司	代理人	陈红

摘要

本发明涉及一种具有差异性掺杂的太阳能电池的单次扩散制造方法，该方法包含下列步骤：首先提供一基材，并在其上形成一掺杂浓度控制层。掺杂浓度控制层至少包含多个开口形成于其中。接着进行掺杂工艺，使得位于掺杂浓度控制层开口下方的基材，形成重掺杂区，并使基材的其它区域形成轻掺杂区。

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