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在导电层上形成图案化的绝缘层的方法及使用所述方法制造的制品

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201980090156.4
  • IPC分类号:H01L29/08;H01L29/161;H01L29/165
  • 申请日期:
    2019-11-12
  • 申请人:
    康宁股份有限公司
著录项信息
专利名称在导电层上形成图案化的绝缘层的方法及使用所述方法制造的制品
申请号CN201980090156.4申请日期2019-11-12
法律状态公开申报国家中国
公开/公告日2021-09-03公开/公告号CN113348561A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L29/08
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IPC结构图谱:
IPC分类号H;0;1;L;2;9;/;0;8;;;H;0;1;L;2;9;/;1;6;1;;;H;0;1;L;2;9;/;1;6;5查看分类表>
申请人康宁股份有限公司申请人地址
美国纽约州 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人康宁股份有限公司当前权利人康宁股份有限公司
发明人T·M·温
代理机构上海专利商标事务所有限公司代理人张璐;乐洪咏
摘要
用于在导电层上形成图案化的绝缘层的方法可包括:使用光化学烧蚀,沿着掩模的中心区域的周界切断设置在导电层上的掩模。可移除掩模的中心区域以在掩模中形成开口,由此,围绕掩模中的开口的掩模的剩余区域覆盖导电层的对应的周围区域。可向导电层的中心区域和掩模的剩余区域施加绝缘层。可从导电层移除掩模的剩余区域,以移除设置在掩模的剩余区域上的过量的绝缘层部分,由此,与掩模中的开口对应的绝缘层的剩余部分限定了设置在导电层上的图案化的绝缘层。

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