一种等离子体处理的工艺控制方法及装置

发明专利有效专利

申请号：
CN201410175598.8
IPC分类号：H01J37/32
申请日期：
2014-04-28
申请人：
南方科技大学

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著录项信息

专利名称	一种等离子体处理的工艺控制方法及装置
申请号	CN201410175598.8	申请日期	2014-04-28
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2014-07-23	公开/公告号	CN103943452A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/32 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/32 充气放电管（放电加热的入H05B）	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;3;2查看分类表>
申请人	南方科技大学	申请人地址	广东省深圳市南山区西丽学苑大道1088号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	南方科技大学	当前权利人	南方科技大学
发明人	何祝兵;王春柱;苏奇聪
代理机构	广州三环专利代理有限公司	代理人	郝传鑫;熊永强

摘要

本发明实施例公开了一种等离子体处理的工艺控制方法及装置，其中，该方法包括：获取工艺流程参数管理表中的工艺数据，其中，所述工艺流程参数管理表中包括配置的工艺数据，该工艺数据包括工艺步骤及对应工艺步骤下的工艺参数；通过基于OPC协议的数据通讯，对获取到的工艺数据进行封装，并将封装后的工艺数据发送给工业组态监控设备，以使所述工业组态监控设备根据所述工艺步骤和工艺参数控制与其相连的工艺设备执行对应的工艺操作。采用本发明，可灵活处理工艺数据，并实时跟踪、调整工艺设备执行的工艺操作，提高了工艺处理质量。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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