低损耗光学有源器件的制造方法

发明专利无效专利

申请号：
CN98106972.X
IPC分类号：--
申请日期：
1998-02-26
申请人：
三星电子株式会社

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法律信息

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著录项信息

专利名称	低损耗光学有源器件的制造方法
申请号	CN98106972.X	申请日期	1998-02-26
法律状态	权利终止	申报国家	暂无
公开/公告日	1998-09-16	公开/公告号	CN1193117
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	三星电子株式会社	申请人地址	韩国京畿道变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	三星电子株式会社	当前权利人	三星电子株式会社
发明人	俞炳权;李炯宰;李泰衡;李勇雨
代理机构	北京市柳沈律师事务所	代理人	李晓舒

摘要

低损耗光学有源器件及其制作方法。该方法包括步骤：用线性聚合物在可透过紫外(UV)光的基片上形成下包层；在下包层的一区域形成不透过UV光的第一金属层，形成不透过UV光的第二金属层；形成非线性聚合物层；对基片用UV光曝光，仅在非线性芯区形成非线性聚合物；形成第三金属层；去除第二金属层；在第一金属层和光波导上涂覆线性聚合物；仅在线性芯区形成线性聚合物；去除第一和第三金属层；在下包层和波导芯区形成上包层。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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