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静电卡盘的湿法清洗

发明专利有效专利

申请号：
CN200580045503.X
IPC分类号：B08B3/12;B08B3/10;B08B6/00;B08B3/14;B08B7/00;B08B7/02;B08B3/00;C23G1/02;B08B5/00
申请日期：
2005-11-21
申请人：
兰姆研究公司

基础信息

权利要求

说明书

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	静电卡盘的湿法清洗
申请号	CN200580045503.X	申请日期	2005-11-21
法律状态	授权	申报国家	暂无
公开/公告日	2007-12-26	公开/公告号	CN101094733
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B08B3/12 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B08 清洁 B08B 一般清洁；一般污垢的防除（刷子入A46；家庭或类似清洁装置入A47L；颗粒从液体或气体中分离入B01D；固体分离入B03，B07；一般对表面喷射或涂敷液体或其他流体材料入B05；用于输送机的清洗装置入B65G 45/10；对瓶子同时进行清洗、灌注和封装的入B67C 7/00；一般腐蚀或积垢的防止入C23；街道、永久性道路、海滨或陆地的清洗入E01H；专门用于游泳池或仿海滨浴场浅水池或池子的部件、零件或辅助设备清洁的入E04H 4/16；防止或清除静电荷入H05F） B08B3/00 使用液体或蒸气的清洁方法（B08B 9/00优先） B08B3/04 与液体接触的清洁 B08B3/10 对液体或被净化物体进行附加处理的，如用加热，电力，振动 B08B3/12 用声波或超声波振动的（声波或超声波陶器或餐具清洗或冲洗机入A47L 15/13；使用超声波技术清洗或冲洗天然牙、假牙或类似于天然牙的入A61C 17/20；超声波振动用于一般化学、物理，或物理化学过程中的入B01J 19/10〔2，5〕	IPC分类号	B;0;8;B;3;/;1;2;;;B;0;8;B;3;/;1;0;;;B;0;8;B;6;/;0;0;;;B;0;8;B;3;/;1;4;;;B;0;8;B;7;/;0;0;;;B;0;8;B;7;/;0;2;;;B;0;8;B;3;/;0;0;;;C;2;3;G;1;/;0;2;;;B;0;8;B;5;/;0;0查看分类表>
申请人	兰姆研究公司	申请人地址	美国加利福尼亚变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	兰姆研究公司	当前权利人	兰姆研究公司
发明人	H·什;黄拓川;C·周;B·莫瑞尔;B·麦科米林;P·穆尔格鲁;A·阿弗彦
代理机构	上海华晖信康知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	樊英如

摘要

用于清洗新的或用过的静电卡盘的非-破坏性并且简单的方法，包括湿法清理过程，其将沉积在静电卡盘表面上的污染物除去。

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