基于NV-色心金刚石—MEMS混合结构的陀螺仪及制作方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201310752272.2
IPC分类号：G01C19/58;G01C19/56;G01C25/00
申请日期：
2013-12-31
申请人：
北京航空航天大学

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	基于NV-色心金刚石—MEMS混合结构的陀螺仪及制作方法
申请号	CN201310752272.2	申请日期	2013-12-31
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2014-04-23	公开/公告号	CN103743390A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01C19/58 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01C 测量距离、水准或者方位；勘测；导航；陀螺仪；摄影测量学或视频测量学（液体水平面的测量入G01F；无线电导航，通过利用无线电波的传播效应，例如多普勒效应，传播时间来测定距离或速度，利用其他波的类似装置入G01S） G01C19/00 陀螺仪；使用振动部件的转动敏感装置；不带有运动部件的转动敏感装置；使用陀螺效应测量角速率〔1，2013.01〕 G01C19/58 不带有运动部件的转动敏感装置〔3〕	IPC分类号	G;0;1;C;1;9;/;5;8;;;G;0;1;C;1;9;/;5;6;;;G;0;1;C;2;5;/;0;0查看分类表>
申请人	北京航空航天大学	申请人地址	北京市海淀区学院路37号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京航空航天大学	当前权利人	北京航空航天大学
发明人	房建成;张宁;张晨;袁珩
代理机构	北京科迪生专利代理有限责任公司	代理人	孟卜娟

摘要

本发明提供的一种基于NV?色心金刚石—MEMS混合结构的陀螺仪及制作方法，包括信号调理电路板、雪崩光电二极管（APD）、垂直腔面发射激光器（VCSEL）、制作于绝缘衬底上的硅材料（SOI）上的NV?色心金刚石—MEMS混合结构和滤波片；结合了NV?色心金刚石自旋陀螺仪和MEMS陀螺仪的优点，克服了NV?色心金刚石陀螺仪和MEMS陀螺仪的不同误差源影响，具有更高的理论灵敏度和更好的稳定性，具有体积小、成本低、灵敏度高、操作条件简易等优势，对研制新一代基于固体原子自旋效应和MEMS效应的混合陀螺仪有着重要的价值，将服务于未来各个领域特别是低成本的惯性导航和测姿系统。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供